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          薄膜制備

          THIN FILM FABRICATION

          薄膜外延技術,是半導體等新材料研發制備的關鍵技術。費勉儀器致力于分子束外延生長技術的國產化,成功開發了大中小不同系列科研用MBE系統及各種核心部件。其中蒸發源產品覆蓋了從最低零下50℃到最高3500℃的蒸發范圍。產品成功交付國內外知名大學和研究所。
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